|
|
| ПЕРСОНАЛИИ |
| Агеев Олег Алексеевич |
| член-корреспондент РАН |
| профессор |
| доктор технических наук (2005) |
нанотехнологии, наноэлектроника, микросистемная техника, наносистемная техника, атомно-силовая микроскопия, сканирующая туннельная микроскопия, молекулярно-лучевая эпитаксия, фокусированные ионные пучки, лазерная абляция