Аннотация:
Рассматривается два алгоритма широкополосного оптического контроля процесса напыления оптических покрытий: без решения дополнительной обратной задачи уточнения толщин уже напыленных слоев и с ее решением. Показано, что уточнение толщин уже напыленных слоев приводит к уменьшению ошибок в толщинах слоев, но не всегда обеспечивает более точную реализацию требуемых спектральных свойств покрытия. Впервые продемонстрировано, что при выборе алгоритма контроля следует принимать во внимание наличие эффекта самокомпенсации ошибок.
Библ. 10. Фиг. 8. Табл. 7.
