МЕХАНИКА

Моделирование процессов газообмена в пористом пространстве между поверхностью металлокерамических плат и огнеупорной оснасткой в условиях высокотемпературного спекания

И. А. Жуков^a, А. Ю. Крайнов^a, К. М. Моисеева^a, Е. В. Ермолаев^bc, В. А. Егошин^cab, Ш. Н. Шугаепов^abc, Р. Ш. Ахметгалиев<sup>ca

a</sup> Томский государственный университет, Томск, Россия
^b Марийский государственный университет, Йошкар-Ола, Россия
^c АО «Завод полупроводниковых приборов», Йошкар-Ола, Россия

Аннотация: Проведено моделирование процессов конвекции и диффузии примесей в формир-газе в процессах высокотемпературного спекания керамических изделий. Для описания изотермического фильтрационного движения газа в пористом пространстве использована модель Лейбензона. Определены стационарные поля давления, концентрации паров металлов и модуля скорости движения смеси газов в пористом пространстве между шероховатой пластиной и поверхностью корпуса микросхемы.

Ключевые слова: математическое моделирование, газообмен, фильтрация газа, диффузия примесей, пористость.

УДК: 533.15; 666.3.017

Статья поступила: 27.02.2025
Статья принята в печать: 6 сентября 2025 г.

DOI: 10.17223/19988621/97/6