Эта публикация цитируется в 6 статьях

Прикладная оптика

Контроль параметров микрорельефа дифракционных оптических элементов с использованием тестовых дифракционных структур

А. В. Волков


Аннотация: Предложен и исследуется метод лазерного контроля качества микрорельефа дифракционных оптических элементов, осуществляемого на основе тестовых дифракционных структур (ТДС). Показана возможность контроля дифракционного микрорельефа оптических элементов среднего ИК-диапазона на основе линейных амплитудных ТДС с точностью 0{,}1 мкм.

УДК: 621.382

DOI: 10.14498/vsgtu80

Реферативные базы данных:

• 
•