Подготовка, обработка и визуализация данных для изготовления голограмм на электронно-лучевой установке ZBA-21

С. Ю. Серёжников

Институт вычислительной математики РАН, г. Москва

Аннотация: Разработан пакет программ для проектирования и изготовления компьютерно-синтезированных голограмм с помощью технологии электронно-лучевой литографии на установке ZBA-21. Пакет позволяет визуализировать микрорельеф, подготовленный для экспонирования, переводить данные из растрового формата в формат, используемый ZBA, а также формировать полные данные для экспонирования микрорельефа голограммы из отдельных элементов. Пакет программ используется для изготовления оригиналов голограмм в НИВЦ МГУ.

Ключевые слова: компьютерно-синтезированные голограммы; электронно-лучевая литография; визуализация данных.

УДК: 519.6:629.78