К 55-ЛЕТИЮ ИНСТИТУТА СПЕКТРОСКОПИИ РАН (ИСАН). ОБЗОРЫ АКТУАЛЬНЫХ ПРОБЛЕМ

Кремниевая интегральная фотоника

С. С. Косолобов, И. А. Пшеничнюк, К. Р. Тазиев, А. К. Земцова, Д. С. Земцов, А. С. Смирнов, Д. М. Жигунов, В. П. Драчёв

Сколковский институт науки и технологий, Территория Инновационного центра "Сколково"

Аннотация: Технологии кремниевой интегральной фотоники являются основой для создания целого класса устройств, таких как оптические модуляторы, фотодетекторы, оптические фильтры и переключатели, мультиплексоры и демультиплексоры, оптические трансиверы и др. По многим параметрам кремниевая интегральная фотоника конкурирует с альтернативными платформами на основе фосфида индия, нитрида и оксида кремния и других материалов. Рассмотрены современные подходы, используемые в технологиях кремниевой интегральной фотоники, и описаны разработанные на их основе компоненты фотонных интегральных схем и устройств, а также проведено сравнение с альтернативными технологическими платформами.

Ключевые слова: кремний, интегральная фотоника, нанофотоника, кремний-на-изоляторе, компоненты фотонных интегральных схем.

PACS: 42.82.-m, 42.82.Et, 84.40.Lj

Поступила: 15 апреля 2024 г.
Доработана: 12 сентября 2024 г.
Одобрена в печать: 13 сентября 2024 г.

DOI: 10.3367/UFNr.2024.09.039762

 Англоязычная версия: Physics–Uspekhi, 2024, 67:11, 1153–1167

Реферативные базы данных:

• 
• 
•