Исследование плазмы

Вакуумное ультрафиолетовое излучение плазменной струи

В. П. Крайнов^a, Б. М. Смирнов<sup>b

a</sup> Московский физико-технический институт, г. Долгопрудный
^b Объединенный институт высоких температур РАН, г. Москва

Аннотация: Представлена связь между излучательными параметрами горячей плазмы за счет фоторекомбинации электронов и ионов. Полученные соотношения применены для анализа газоразрядной гелиевой плазмы, исследованной экспериментально в рамках конкретной схемы газового разряда. Показано, что такая плазма, из которой выделена центральная часть в результате истечения из области газового разряда через отверстие, является эффективным источником излучения в области вакуумного ультрафиолета. Такой источник может быть использован для литографии.

УДК: 537.52

Поступила в редакцию: 02.03.2025
Исправленный вариант: 21.04.2025
Принята в печать: 13.05.2025

DOI: 10.7868/S3034610X25040033