Применение лазеров и другие вопросы квантовой электроники

Лазерная кристаллизация кремниевых покрытий на гибких полимерных подложках: влияние металла поглощающего слоя

А. А. Сердобинцев, Л. Д. Волковойнова

Саратовский государственный университет им. Н. Г. Чернышевского, Россия 410012 Саратов

Аннотация: Представлены результаты изучения влияния металлических покрытий на процесс кристаллизации кремния на гибких полимерных подложках. Исследование проводилось на примере таких металлов, как алюминий, олово, никель и молибден. Кристаллизация осуществлялась методом металл-индуцированной лазер-стимулированной кристаллизации (МИЛС). Для определения степени влияния металла на процесс кристаллизации структура кремния после обработки исследовалась методом комбинационного рассеяния света.

Ключевые слова: гибкая электроника, кристаллизация кремния, металл-индуцированная кристаллизация кремния, индуцированная лазером кристаллизация кремния, ИК импульсный лазер.

Поступила в редакцию: 02.08.2024

 Англоязычная версия: Quantum Electronics, 2024, 51:suppl. 12, S1084–S1089