Влияние обработки поверхности подложки на эрозионный износ поликристаллических алмазных покрытий, осаждаемых газоструйным методом

А. А. Емельянов^a, М. Ю. Плотников^a, Н. И. Тимошенко^a, И. Б. Юдин^a, В. Ю. Ульяницкий^b, И. С. Батраев<sup>b

a</sup> Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
^b Институт гидродинамики им. М. А. Лаврентьева СО РАН, Новосибирск, Россия

Аннотация: Представлены результаты исследования эрозионного износа поликристаллического алмазного покрытия, осаждаемого на молибденовую подложку. До нанесения алмазного покрытия проводилась обработка поверхности молибденовой подложки потоком микрочастиц корунда или карбида кремния. Алмазное покрытие наносилось на подложку методом газоструйного осаждения из смеси H$_2$–CH$_4$–Ar, активированной в сверхвысокочастотном разряде. Установлено, что предварительная обработка поверхности подложки способствует повышению износостойкости получаемого алмазного покрытия.

Ключевые слова: газоструйное осаждение, поликристаллическая алмазная пленка, сверхвысокочастотный разряд, эрозионный износ.

УДК: 533; 54.057

Поступила в редакцию: 20.05.2024
Исправленный вариант: 31.07.2024
Принята в печать: 02.09.2024

DOI: 10.15372/PMTF202415516

 Англоязычная версия: Journal of Applied Mechanics and Technical Physics, 2025, 66:3, 440–445

Реферативные базы данных:

•