Свечение плазмы ВЧ-разрядов при пониженном давлении

Н. А. Лашук, Е. Т. Протасевич, В. И. Толмачев, В. А. Хан

г. Томск

Аннотация: Для случаев сухого и влажного воздуха исследован безэлектродный ВЧ-разряд в кварцевых трубках с внутренним диаметром 0,01–0,09 м и длиной 0,35–2,00 м при давлениях 60–4000 Па в диапазоне частот 5 МГц – 10 ГГц. Установлено, что форма свечения зависит от давления газа и его влажности. Экспериментальным путем получено 15-кратное уменьшение объема плазмы емкостного ВЧ-разряда за счет введения в него паров воды. Для обоих случаев определена концентрация плазмы.

УДК: 537.523.74

Поступила в редакцию: 29.06.1984

 Англоязычная версия: Journal of Applied Mechanics and Technical Physics, 1985, 26:5, 605–607