Ультратонкие слои оксида церия для формирования субмикронных YBCO-структур

Е. А. Архипова, М. В. Зорина, Д. В. Мастеров, С. А. Павлов, А. Е. Парафин, П. А. Юнин

Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород, Россия

Аннотация: Исследованы нанометровые слои оксида церия (CeO$_2$) на сапфире и характеристики осажденных на них слоев YBCO в зависимости от температуры роста CeO$_2$. Показано, что использование ультратонких слоев CeO$_2$, полученных при пониженной температуре роста, открывает возможность формирования методом задающей маски сверхпроводящих эпитаксиальных YBCO-структур с субмикронными размерами элементов.

Ключевые слова: тонкие пленки, формирование топологии структуры, YBCO, оксид церия.

Поступила в редакцию: 17.11.2025
Исправленный вариант: 17.11.2025
Принята в печать: 10.12.2025

DOI: 10.61011/PJTF.2026.07.62524.20575