Н. Н. Герасименко, А. А. Чамов, Н. А. Медетов, В. А. Ханин, “Особенности формирования рельефа при травлении кремния фокусированным ионным пучком”, Письма в ЖТФ, 2010, том 36, выпуск 21,страницы 38

Эта публикация цитируется в 2 статьях

Особенности формирования рельефа при травлении кремния фокусированным ионным пучком

Н. Н. Герасименко^ab, А. А. Чамов^ab, Н. А. Медетов^ab, В. А. Ханин^ab

^a Московский государственный институт электронной техники, Зеленоград
^b ОАО «НИИ молекулярной электроники и завод "Микрон"», Зеленоград, Москва

Аннотация: Экспериментально исследовано воздействие фокусированного ионного пучка на состояние поверхности кремния. Обнаружены периодические кольцеобразные наплывы на стенках вытравливаемого цилиндра. Показана зависимость процесса формирования структур от условий эксперимента. Сделан вывод о влиянии явления радиационной пластичности на эффект образования кольцеобразных периодических структур.