А. Е. Комлев, А. Е. Лапшин, О. В. Магдысюк, В. В. Плотников, В. И. Шаповалов, Н. С. Шутова, “Влияние термообработки на структуру пленок диоксида титана”, Письма в ЖТФ, 2010, том 36, выпуск 20,страницы 29

Эта публикация цитируется в 10 статьях

Влияние термообработки на структуру пленок диоксида титана

А. Е. Комлев^ab, А. Е. Лапшин^ab, О. В. Магдысюк^ab, В. В. Плотников^ab, В. И. Шаповалов^ab, Н. С. Шутова^ab

^a Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина)
^b Институт химии силикатов имени И. В. Гребенщикова РАН, г. Санкт-Петербург

Аннотация: Приведены результаты исследования развития при изотермическом отжиге нанокристаллических фаз в пленках диоксида титана. В пленках, имеющих после осаждения разную кристаллическую структуру, термообработка на воздухе и в вакууме в интервале температур 500–700$^\circ$C приводит к существенно отличающимся результатам.

Поступила в редакцию: 29.03.2010