Эта публикация цитируется в 4 статьях

Новый подход в метрологии в нанообласти

С. К. Максимов^ab, К. С. Максимов<sup>ab

a</sup> Московский государственный институт электронной техники
^b АНО "Аналитика и высокие технологии"

Аннотация: Даны представления о пофракционном методе контроля в нанообласти и описана ключевая стадия метода, связанная с определением формы и размеров нанообъектов по РЭМ изображениям, полученным при разных сходимостях электронного зонда.

Поступила в редакцию: 19.05.2010

 Англоязычная версия: Technical Physics Letters, 2010, 36:10, 938–941

Реферативные базы данных:

•