Эта публикация цитируется в 9 статьях

Моделирование процессов образования атомарного азота в плазме тлеющего разряда в смеси азот-аргон

В. А. Хомич^ab, А. В. Рябцев^ab, Е. Г. Дидык^ab, В. А. Жовтянский^ab, В. Г. Назаренко<sup>ab

a</sup> Институт физики НАН Украины, г. Киев
^b Институт газа Национальной академии наук Украины, г. Киев

Аннотация: Рассмотрена задача определения содержания атомарного азота как активной компоненты, ответственной за эффективность технологий модификации поверхности металлов в плазме стационарного тлеющего разряда низкого давления в смеси азот–аргон, широко применяемой в этих технологиях. Влияние состава смеси на скоростную константу диссоциации молекулярного азота, ответственной за продуцирование атомарного азота, определено расчетным путем, а параметры плазмы – экспериментально, на основе измерений двойными зондами. Функция распределения электронов по энергиям находилась путем численного интегрирования уравнения Больцмана, записанного в двучленном приближении для смеси молекулярного азота и аргона.

Поступила в редакцию: 07.04.2010

 Англоязычная версия: Technical Physics Letters, 2010, 36:10, 918–922

Реферативные базы данных:

•