Аннотация:
Описано исследование ВТСП микрополосковых резонаторов и фильтра, включающее моделирование электродинамических параметров пленки ВТСП, проектирование резонаторов и фильтра, их изготовление и тестирование. Для изготовления тестовых образцов использовались двухсторонние пленки YBCO на подложке из лантаната алюминия толщиной 0.5 mm. Для получения тестовой структуры использовался процесс фотолитографии с применением ионного травления для формирования структуры ВТСП резонатора и фильтра. Из эксперимента найдены параметры модели поверхностного сопротивления исследуемой пленки YBCO, а также толщина пленки и диэлектрическая проницаемость подложки. Адекватность модели и достоверность найденных параметров, использованных при синтезе и проектировании фильтра 4-го порядка, подтверждаются совпадением экспериментальных и расчетных характеристик.