Эта публикация цитируется в 7 статьях

Морфология пористого кремния при длительном анодном травлении в электролите с внутренним источником тока

К. Б. Тыныштыкбаев^ab, Ю. А. Рябикин^ab, С. Ж. Токмолдин^ab, Т. Айтмукан^ab, Б. А. Ракыметов^ab, Р. Б. Верменичев<sup>ab

a</sup> Физико-технический институт Министерства образования и науки Казахстана, Алматы, Казахстан
^b Казахский национальный технический университет им. К. И. Сатпаева

Аннотация: Представлены результаты электронно-микроскопического исследования морфологии пористого кремния, полученного при длительном анодном травлении с использованием внутреннего источника тока в электролитах HF: H$_2$O$_2$:H$_2$C$_5$OH и HF:H$_2$O$_2$. Обнаружена мозаичная структура нанопористого кремния в виде островков, разделенных кремниевыми выступами. Показано, что островки представляют собой скопления окисленных нанокристаллитов. Приведены результаты элементного анализа островков окисленных нанокристаллитов и кремниевых выступов.

Поступила в редакцию: 01.12.2009

 Англоязычная версия: Technical Physics Letters, 2010, 36:6, 538–540

Реферативные базы данных:

•