Аннотация:
Рассмотрены конструкция и принцип работы нового микроканального лавинного фотодиода с коэффициентом лавинного умножения до 10$^5$, в котором диапазон линейности прибора улучшен на порядок по сравнению с известными аналогами. Отличительной чертой нового прибора является то, что прямосмещенные $p$–$n$-переходы, выполняющие функцию гасящих индивидуальных резисторов, расположены под каждым пикселем. Это обеспечивает увеличение плотноcти до 40 000 каналов умножения на mm$^2$ при стопроцентной чувствительной площади прибора.