Эта публикация цитируется в 3 статьях

О текущем контроле роста пленок цирконата-титаната свинца в камере газового разряда

С. П. Зинченко, А. П. Ковтун, Г. Н. Толмачев

Южный научный центр РАН, г. Ростов-на-Дону

Аннотация: В режиме реального времени (in situ) в ходе газоразрядного напыления пленок цирконата-титаната свинца Pb(Zr$_x$Ti$_{1-x}$)O$_3$ (ЦТС) на подложку из нержавеющей стали обнаружена осцилляторно затухающая зависимость интенсивности зеркально отраженного от пленки на подложке оптического излучения с длиной волны 0.640 $\mu$m. Выявлены зависимость параметров кривых отражения от вводимой в разряд мощности и корреляция этих параметров с типом получаемых пленок (со структурами типа пирохлора и перовскита). Метод позволяет уже на начальной стадии контролировать в режиме in situ технологические параметры напыления, определяющие нужные физические характеристики.

Поступила в редакцию: 14.12.2009

 Англоязычная версия: Technical Physics Letters, 2010, 36:5, 474–477

Реферативные базы данных:

•