Эта публикация цитируется в 9 статьях

Ионно-лучевая инженерия многослойной наноструктуры Co/TiO$_2$

А. И. Стогний^a, М. В. Пашкевич^a, Н. Н. Новицкий^a, А. В. Беспалов<sup>b

a</sup> Научно-практический центр Национальной академии наук Беларуси по материаловедению, Минск, Беларусь
^b Московский государственный институт радиотехники, электроники и автоматики (технический университет), Москва, Россия

Аннотация: Методом ионно-лучевого распыления получены и исследованы многослойные структуры Co/TiO$_2$ суммарной толщиной до 100 nm, с толщиной парциальных слоев, варьируемой в нанометровом интервале. Показано, что в многослойных структурах [Co(2 nm)/TiO$_2$(2 nm)]$_{15}$, [Co(2 nm)/TiO$_2$(4 nm)]$_{15}$ и [Co(4 nm)/TiO$_2$(4 nm)]$_{12}$ среднеквадратичная шероховатость поверхности не превышает 0.9 nm, все слои являются сплошными, имеют резкие плоскопараллельные интерфейсы, а характеристики каждого слоя близки к характеристикам их объемных аналогов. Структура [Co(2 nm)/TiO$_2$(4 nm)]$_{15}$ отличается наибольшей прозрачностью (более 7% в видимой области спектра). Указанные пленки обладают перспективными свойствами для применения в магнитооптике и спинтронике. Поверхности многослойных структур [Co(4 nm)/TiO$_2$(2 nm)]$_{15}$ и [Co(6 nm)/TiO$_2$(2 nm)]$_{12}$ имеют среднеквадратичную шероховатость более 1 nm и отличаются наличием проколов с плотноcтью до 5$\cdot$10$^7$ cm$^{-2}$. Уменьшение толщины парциальных слоев от 2 nm сопровождается перемешиванием слоев, а увеличение толщины уединенного слоя TiO$_2$ от 6 nm приводит к большим отличиям в спектре пропускания от спектра анатаза TiO$_2$ и уменьшению прозрачности.

Поступила в редакцию: 18.11.2009

 Англоязычная версия: Technical Physics Letters, 2010, 36:9, 426–429

Реферативные базы данных:

•