Эта публикация цитируется в 4 статьях

Особенности электростимулированного разрушения алюминиевой металлизации при наличии диэлектрических ступенек на поверхности кремния

А. А. Скворцов, В. В. Рыбин, С. М. Зуев

Ульяновский государственный университет

Аннотация: Рассмотрены особенности тепловой деградации напыленных на диэлектрические ступеньки алюминиевой металлизации при прохождении через нее одиночных прямоугольных импульсов тока амплитудой $j<$ 8 $\cdot$ 10$^{10}$ A/m$^2$ и длительностью 100–1000 $\mu$s. Предложена методика, позволяющая проводить диагностику слоев металлизации с диэлектрическими подслоями и определять область их безопасной работы.

Поступила в редакцию: 21.10.2009

 Англоязычная версия: Technical Physics Letters, 2010, 36:3, 282–284

Реферативные базы данных:

•