Эта публикация цитируется в 1 статье

Формирование наноструктурированных тонких слоев при их газогетерогенном синтезе из малоразмерных летучих металлокомплексов на поверхности полупроводников и диэлектриков

А. М. Бадалян^a, Л. Ф. Бахтурова, В. В. Каичев^b, Б. П. Кашников^c, О. В. Поляков^a, О. П. Пчеляков^c, Г. И. Смирнов

^a Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН, г. Новосибирск
^b Институт катализа им. Г. К. Борескова СО РАН, г. Новосибирск
^c Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск

Аннотация: Представлен и исследован новый метод формирования наноструктурированных тонких слоев при их газогетерогенном синтезе из малоразмерных летучих металлокомплексов. Наноструктурированные тонкие слои меди на кремниевых и кварцевых подложках синтезированы из малоразмерных формиатных металлокомплексов на основе совмещенного синтеза-переноса. Выявлено, что осажденный слой имеет характерную плотно упакованную зернистую структуру с преимущественным содержанием меди в металлическом состоянии Cu$^0$ наноразмерных зерен.

Поступила в редакцию: 21.10.2009

 Англоязычная версия: Technical Physics Letters, 2010, 36:3, 265–268

Реферативные базы данных:

•