П. С. Пляка, Г. Н. Толмачев, “Особенности спектров оптической эмиссии плазмы высокочастотного разряда в процессе распыления феррита висмута”, Письма в ЖТФ, 2010, том 36, выпуск 4,страницы 88

Эта публикация цитируется в 4 статьях

Особенности спектров оптической эмиссии плазмы высокочастотного разряда в процессе распыления феррита висмута

П. С. Пляка^ab, Г. Н. Толмачев^ab

^a Южный научный центр РАН, г. Ростов-на-Дону
^b Научно-исследовательский институт физики Южного федерального университета, Ростов-на-Дону

Аннотация: Выполнены сравнительные исследования спектров оптической эмиссии плазмы кислородного ВЧ-разряда в процессе распыления мишени из BiFeO$_3$ и железосодержащих металлических сплавов. Обнаружены две аномально яркие линии атомов железа, характерные только для феррита висмута и слабо выраженные при использовании металлических мишеней. Получено подтверждение полного отсутствия в спектре линий висмута. Предложен механизм возбуждения аномальных линий железа 613.6 и 306.7 nm при распылении мишени из BiFeO$_3$.

Поступила в редакцию: 22.09.2009