Аннотация:
На основе формализма статистической динамической теории дифракции разработана модель, описывающая когерентное и диффузное рассеяние рентгеновских лучей от многослойных пористых кристаллов. Проведено численное моделирование карт распределения интенсивности рассеяния от пористых систем. Показано, что существенную роль в формировании контуров равной интенсивности играет статистическое усреднение по размерам пор. Сравнительный анализ экспериментальных данных и численных расчетов позволил получить усредненные параметры пористых структур InP, включая размеры пор и величину латерального квазипериода.