Эта публикация цитируется в 2 статьях

Новый подход к экспресс-характеризации монокристаллического карбида кремния

М. Г. Мынбаева

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург

Аннотация: Предложен новый подход к решению проблемы эффективной и быстрой характеризации слитков SiC, который может быть использован для экспресс-диагностики их качества в условиях массового производства. Методика позволяет выявлять такие дефекты, как включения других политипов, молоугловые границы зерен, дисклокационные микротрубки и неоднородность в распределении примесей, и может использоваться для оптимизации технологических режимов выращивания объемных монокристаллов SiC.

Поступила в редакцию: 11.09.2009

 Англоязычная версия: Technical Physics Letters, 2010, 36:1, 80–82

Реферативные базы данных:

•