Эта публикация цитируется в 3 статьях

Образование поверхностных структур на монокристаллическом кремнии при воздействии мощного ионного пучка наносекундной длительности

В. С. Ковивчак^ab, Т. В. Панова^ab, О. В. Кривозубов^ab, Н. А. Давлеткильдеев<sup>ab

a</sup> Омский филиал Института физики полупроводников СО РАН
^b Омский государственный университет им. Ф. М. Достоевского

Аннотация: Исследовано образование структур на поверхности монокристаллического кремния при воздействии мощного протон-углеродного пучка наносекундной длительности. Описаны морфологические особенности возникающих структур. Рассмотрены возможные механизмы их формирования.

Поступила в редакцию: 19.07.2011

 Англоязычная версия: Technical Physics Letters, 2011, 37:12, 1183–1185

Реферативные базы данных:

•