Эта публикация цитируется в 5 статьях

Метод сфокусированного ионного пучка при формировании наноразмерных структур в микрофлюидных чипах

А. А. Евстрапов^abc, И. С. Мухин^abc, И. В. Кухтевич^abc, А. С. Букатин<sup>abc

a</sup> Институт аналитического приборостроения РАН, г. Санкт-Петербург
^b Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики
^c Санкт-Петербургский академический университет — научно-образовательный центр нанотехнологий РАН (Академический университет)

Аннотация: Микрофлюидные чипы являются основой современных компактных аналитических систем с уникальными техническими характеристиками. Применение функциональных наноразмерных структур в микрофлюидных чипах открывает новые возможности. Приведены и обсуждены результаты работ по формированию наноразмерных структур, используемых в качестве ловушек для микрочастиц в каналах микрофлюидного чипа. Микроразмерные каналы выполнены методами фотолитографии и кислотного травления в стеклянной подложке, а наноразмерные структуры получены методами сфокусированного ионного и электронного пучков. Полученные микрофлюидные чипы могут использоваться для исследований биологических объектов методами микроскопии высокого разрешения.

Поступила в редакцию: 02.05.2011

 Англоязычная версия: Technical Physics Letters, 2011, 37:10, 956–959

Реферативные базы данных:

•