Аннотация:
Исследовано влияние естественного старения на интенсивность и положение пика фотолюминесценции (ФЛ) пористого кремния (por-Si) $n$-типа. Изменение фазового состава и относительного содержания аморфных и оксидных фаз кремния в por-Si в процессе старения определялось моделированием экспериментальных ультрамягких рентгеновских эмиссионных Si L$_{2,3}$-спектров с помощью спектра эталонных фаз.