Аннотация:
Рассматриваются процессы диффузии в системе “пленка–подложка” при облучении поверхности ионами Ar$^+$ различных энергий. Приведены данные по изменению компонентного состава поверхностных слоев в области границы “пленка–подложка”. Проанализированы возможные механизмы диффузии и аномально глубокого компонентного перемешивания, наблюдаемого в результате ионной имплантации.