Аннотация:
Исследованы различные структуры макропористого кремния для изготовления анодов литий-ионных аккумуляторов. Макропористые мембраны были получены методом фотоэлектрохимического травления $n$-кремния различного удельного сопротивления с последующим удалением подложки. Для повышения пористости образцы подвергались дополнительному окислению с последующим стравливанием оксида. Электрический контакт к мембране создавался напылением меди с подслоем титана и припайкой структуры к молибденовой шайбе. Исследование электрохимических характеристик в полуячейке с Li-противоэлектродом показало, что изготовленные таким образом кремниевые электроды обладают высокой емкостью по внедрению лития (до 50 mAh/cm$^2$) и выдерживают более 20 циклов заряда-разряда.