Ю. А. Быстров, Н. З. Ветров, А. А. Лисенков, “Плазмохимический синтез карбида титана на медных подложках”, Письма в ЖТФ, 2011, том 37, выпуск 15,страницы 33

Эта публикация цитируется в 5 статьях

Плазмохимический синтез карбида титана на медных подложках

Ю. А. Быстров^abc, Н. З. Ветров^abc, А. А. Лисенков^abc

^a Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ»
^b Институт проблем машиноведения РАН, г. Санкт-Петербург
^c АО "С.Е.Д.-СПб", г. Санкт-Петербург

Аннотация: Приведены результаты исследований свойств покрытий, получаемых путем осаждения титана из потока металлической плазмы, генерируемой вакуумно-дуговым разрядом, в парах бензола. Изучен плазменный состав, а также состав и структура формируемых покрытий карбида титана на медных подложках. Рассмотрены вопросы проникновения плазменного потока в глубь цилиндрической полости. Обсуждается механизм формирования покрытия карбида титана на анодах генераторных ламп.

Поступила в редакцию: 13.03.2011