Зависимость скорости поверхностной генерации на границе раздела кремний-свинцово-боросиликатное стекло от условий формирования области неравновесного обеднения
Аннотация:
Методом изотермической релаксации емкости МДП-структуры исследованы генерационные характеристики границы раздела кремний-свинцово-боросиликатное стекло. Обнаружено, что эффективная скорость поверхностной генерации зависит от амплитуды импульса инверсионного напряжения, выводящего структуру из состояния равновесия. Показано, что обнаруженная зависимость может быть обусловлена инжекцией носителей заряда через границу раздела кремний-стекло с их последующей локализацией на ловушечных центрах в приповерхностной области стекла.