Аннотация:
Исследованы изменения электрофизических и структурных характеристик эпитаксиальных пленок YBCO в процессе поэтапного увеличения их толщины до 1 $\mu$m. Показано, что высокое качество получаемых пленок не ухудшается при перерывах в процессе роста, связанных с формированием рисунка на образце и измерением электрофизических характеристик пленки в жидком азоте. Это показывает возможность использования в процессе напыления пленок YBCO промежуточных этапов литографии с целью формирования неоднородных по толщине структур.