RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Письма в Журнал технической физики // Архив

Письма в ЖТФ, 2011, том 37, выпуск 14, страницы 54–59 (Mi pjtf9225)

Эта публикация цитируется в 1 статье

Исследование электрофизических и структурных параметров YBCO-пленок, выращенных за несколько ростовых циклов

Н. В. Востоков, М. Н. Дроздов, Ю. Н. Дроздов, Д. В. Мастеров, С. А. Павлов, А. Е. Парафин

Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород

Аннотация: Исследованы изменения электрофизических и структурных характеристик эпитаксиальных пленок YBCO в процессе поэтапного увеличения их толщины до 1 $\mu$m. Показано, что высокое качество получаемых пленок не ухудшается при перерывах в процессе роста, связанных с формированием рисунка на образце и измерением электрофизических характеристик пленки в жидком азоте. Это показывает возможность использования в процессе напыления пленок YBCO промежуточных этапов литографии с целью формирования неоднородных по толщине структур.

Поступила в редакцию: 27.01.2011


 Англоязычная версия: Technical Physics Letters, 2011, 37:7, 671–673

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2026