Эта публикация цитируется в 4 статьях

Прозрачные и проводящие наноалмазные пленки, легированные бором

Н. А. Феоктистов, С. А. Грудинкин, М. В. Рыбин, А. Н. Смирнов, А. Е. Алексенский, А. Я. Вуль, В. Г. Голубев

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург

Аннотация: Методом микроволнового плазмохимического осаждения из газовой фазы получены легированные бором наноалмазные (НА) пленки на кварцевой подложке. Показано, что использование режимов осаждения, обеспечивающих выращивание легированных НА-пленок, в совокупности с нанесением начального нуклеационного слоя детонационных наноалмазов с небольшой шероховатостью ($<$ 15 nm) и с большим числом центров зародышеобразования алмазной фазы на единицу площади ($>$ 10$^{10}$ cm$^{-2}$), дает возможность получать прозрачные в УФ-видимой области спектра проводящие НА-пленки. Исследовано изменение их прозрачности и проводимости в зависимости от концентрации бора и содержания метана в газовой смеси метан-водород.

Поступила в редакцию: 08.10.2010

 Англоязычная версия: Technical Physics Letters, 2011, 37:4, 322–325

Реферативные базы данных:

•