И. Ю. Тентилова, С. А. Кукушкин, Е. Ю. Каптелов, И. П. Пронин, В. Л. Уголков, “Особенности процесса кристаллизации тонких сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната свинца”, Письма в ЖТФ, 2011, том 37, выпуск 4,страницы 37

Эта публикация цитируется в 10 статьях

Особенности процесса кристаллизации тонких сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната свинца

И. Ю. Тентилова^abc, С. А. Кукушкин^abc, Е. Ю. Каптелов^abc, И. П. Пронин^abc, В. Л. Уголков^abc

^a Институт проблем машиноведения РАН, г. Санкт-Петербург
^b Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
^c Институт химии силикатов имени И. В. Гребенщикова РАН, г. Санкт-Петербург

Аннотация: Методом синхронного термического анализа (СТА) исследована термодинамика процессов, протекающих при росте и отжиге сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната свинца (ЦТС). Пленки были получены методом ВЧ-магнетронного распыления, отжигались на воздухе и в инертной атмосфере аргона при температуре 20–600$^\circ$C и атмосферном давлении. Было показано, что в процессе отжига пленки в среде, содержащей кислород (на воздухе), происходит изменение энтальпии и массы системы, что связано с присутствием кислорода, в то время как при отжиге в инертной атмофере аргона никаких изменений в пленке не наблюдалось. Доказано, что данное изменение связано с переходом оксида свинца в ортоплюмбат свинца в объеме пленки ЦТС. Экспериментально показано, что данный переход приводит к существенному изменению структуры сегнетоэлектрических пленок. На основе этих данных был предложен механизм изменения структуры, происходящего при отжиге пленок ЦТС.

Поступила в редакцию: 26.02.2010