Аннотация:
Методом зонда Ленгмюра получены времяпролетные кривые ионных токов на зонд в плазменном пучке, образованном пересекающимися факелами от двух мишеней кремния по направлению биссектрисы угла между исходными факелами. Впервые обнаружено изменение энергетического спектра плазменного пучка, сформированного при пересечении двух эрозионных факелов посредством изменения угла между ними. Сообщается о разработке модифицированного метода импульсного лазерного напыления на пересекающихся эрозионных факелах, который позволяет в широком диапазоне управлять энергией осаждаемых частиц.