Аннотация:
Представлены результаты рентгенографического исследования лазерно-индуцированной модификации аморфных пленок пентаоксида ванадия (ПОВ), синтезированного методом импульсного лазерного осаждения. Показано, что при невысоких дозах УФ-излучения (до 75 mJ/cm$^{-2}$) в пленках происходит изменение характера ближнего упорядочения по сравнению с исходным состоянием аморфного ПОВ. Это изменение может объяснить большую энергию сублимации и рост плазмохимической стойкости модифицированных пленок.