С. П. Кобелева, И. М. Анфимов, С. Ю. Юрчук, Е. А. Выговская, Б. В. Жалнин, “Влияние гетероструктуры In$_{0.56}$Ga$_{0.44}$P/Ge на диффузию фосфора в германии при формировании многокаскадного солнечного элемента”, Письма в ЖТФ, 2012, том 38, выпуск 24,страницы 33

Эта публикация цитируется в 4 статьях

Влияние гетероструктуры In$_{0.56}$Ga$_{0.44}$P/Ge на диффузию фосфора в германии при формировании многокаскадного солнечного элемента

С. П. Кобелева^ab, И. М. Анфимов^ab, С. Ю. Юрчук^ab, Е. А. Выговская^ab, Б. В. Жалнин^ab

^a Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", г. Москва
^b Научно-исследовательский институт "Квант", г. Москва

Аннотация: Изучали профили фосфора в германии, легированном галлием, полученные при формировании первого каскада трехкаскадного солнечного элемента на основе структур A$^3$B$^5$/Ge (Ga). Методом вторичной ионной масс-спектрометрии получены профили фосфора и галлия в германии после обработки в потоке фосфина и в структуре In$_{0.01}$Ga$_{0.99}$As/In$_{0.56}$Ga$_{0.44}$P/Ge. Отмечено, что основное количество фосфора поступает из соединения In$_{0.56}$Ga$_{0.44}$P одновременно с диффузией галлия. Проведены расчеты диффузионных профилей фосфора в германии. Показано, что диффузия фосфора из буферного слоя In$_{0.56}$Ga$_{0.44}$P, являющегося одновременно источником галлия, является координатно-зависимой и для ее описания необходимо привлечение математических моделей, учитывающих не только диффузионную, но и дрейфовую компоненту потока атомов фосфора.

Поступила в редакцию: 07.08.2012