Эта публикация цитируется в 6 статьях

Плазмохимический синтез нитридных соединений на основе алюминия в плазме вакуумно-дугового разряда

Ю. А. Быстров^abc, Н. З. Ветров^abc, А. А. Лисенков<sup>abc

a</sup> Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина)
^b АО "С.Е.Д.-СПб", г. Санкт-Петербург
^c Институт проблем машиноведения РАН, г. Санкт-Петербург

Аннотация: Предложен вакуумно-дуговой способ плазмохимического синтеза нитридных соединений на основе алюминия (AlN и Ti–Al–N). Изучены состав и структура формируемых покрытий. Показано, что при условии очистки плазменного потока от капельных образований, за счет управления разрядным током, распределением плотности ионного тока в рабочем объеме и давлением газа, удается эффективно управлять составом и структурой формируемого покрытия.

Поступила в редакцию: 14.06.2012

 Англоязычная версия: Technical Physics Letters, 2012, 38:10, 938–940

Реферативные базы данных:

•