Эта публикация цитируется в 3 статьях

Исследование зависимости пьезоактивности пленок оксида цинка от условий синтеза в критических режимах тлеющего разряда

В. А. Александров, А. Г. Веселов, О. А. Кирясова, А. А. Сердобинцев

Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН

Аннотация: Представлены результаты исследования влияния давления газов в магнетронной распылительной системе (МРС) при синтезе пленок ZnO на эффективность возбуждения объемного гиперзвука. Эксперименты проведены при давлениях, близких к переходу тлеющего разряда в МРС в таунденсовский, где длина свободного пробега ионов и электронов возрастает и появляется дрейфовая компонента в потоке осаждаемых частиц. Показано, что в этих условиях возрастает эффективность возбуждения гиперзвука (частота $>1$ GHz), что авторы связывают с уменьшением текстуры зарождения и возрастанием плотности пленки. Выводы сделаны на основании сравнения со свойствами пленок, полученных в классическом диффузном тлеющем разряде.

Поступила в редакцию: 04.06.2012

 Англоязычная версия: Technical Physics Letters, 2012, 38:9, 843–844

Реферативные базы данных:

•