Разработка метода расчета фактора корреляции рельефов подложки и пленочного покрытия по данным атомно-силовой микроскопии

Ю. В. Грищенко, М. Л. Занавескин, А. Н. Марченков

Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", г. Москва

Аннотация: Представлена методика, позволяющая по данным атомно-силовой микроскопии проводить расчет фактора корреляции рельефов подложки и пленочного покрытия, который является функцией пространственной частоты и характеризует степень согласованности рельефов. Изучено влияние артефактов атомно-силовой микроскопии на рассчитываемый фактор корреляции и определен диапазон достоверных пространственных частот. Рассчитан фактор корреляции многослойного зеркального покрытия и подложки.

Поступила в редакцию: 28.03.2012

 Англоязычная версия: Technical Physics Letters, 2012, 38:9, 777–779

Реферативные базы данных:

•