RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Письма в Журнал технической физики // Архив

Письма в ЖТФ, 2012, том 38, выпуск 15, страницы 34–39 (Mi pjtf8919)

О возможности непосредственного определения упругих постоянных тонких пленок в направлении, поперечном к плоскости пленки

С. В. Боритко

Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН, Москва

Аннотация: Приводится описание возможности определения величины упругих постоянных тонких пленок, нанесенных на свободный торец звукопровода, в поперечном к плоскости пленки направлении. В основе предлагаемой методики лежит измерение изменения частот собственных колебаний составного акустического резонатора, содержащего звукопровод и электроакустический преобразователь объемных акустических волн, при его нагрузке тонкопленочным покрытием. Приводятся результаты экпериментальной проверки предложенной методики для тонкой (3.25 $\mu$m) пленки каучука марки ДСТ-30, нанесенной на свободный торец резонатора из плавленого кварца с рабочим диапазоном 80-150 MHz. Показано, что эластичность пленки дивинил-стирольного каучука вдоль и поперек ее плоскости различаются почти на четыре порядка.

Поступила в редакцию: 01.03.2012


 Англоязычная версия: Technical Physics Letters, 2012, 38:8, 703–705

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2026