Аннотация:
По результатам экспериментов и математического моделирования определены энергетические характеристики ионного пучка при импульсном лазерном осаждении слоев MoSe$_2$ в условиях подключения высоковольтных импульсов положительной полярности к лазерной мишени. Показана возможность нанесения покрытий MoSe$_2$, ассистированного имплантацией ионов с энергией до 100 keV, на $^{57}$Fe-содержащую подложку. Анализ глубинного распределения атомов Mo, Se и $^{57}$Fe и фазового состава поверхностного слоя указывал на доминирование массопереноса в термических пиках и существенное влияние “ударного” воздействия ионов на структуру этого слоя на наноуровне, проявившееся в образовании нанокомпозитного слоя с включениями специфической гексагональной фазы FeSe. Полученные результаты демонстрируют принципиально новые возможности усовершенствованной лазерной методики для регулирования процессов получения твердосмазочных покрытий с улучшенными свойствами.