В. И. Шаповалов, А. Е. Лапшин, А. Е. Комлев, А. А. Комлев, “Кристаллизация и термохромизм в пленках оксида вольфрама, отожженных в вакууме”, Письма в ЖТФ, 2012, том 38, выпуск 12,страницы 8

Эта публикация цитируется в 9 статьях

Кристаллизация и термохромизм в пленках оксида вольфрама, отожженных в вакууме

В. И. Шаповалов^ab, А. Е. Лапшин^ab, А. Е. Комлев^ab, А. А. Комлев^ab

^a Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина)
^b Институт химии силикатов имени И. В. Гребенщикова РАН, г. Санкт-Петербург

Аннотация: Приведены результаты исследования кристаллических фаз в пленках оксида вольфрама после ступенчатого отжига в вакууме и на воздухе в диапазоне температур 500–750$^\circ$C. Пленки были осаждены на подложку из кварцевого стекла методом реактивного магнетронного распыления на постоянном токе. Установлено, что термохромизм в пленках обусловлен дефектной по киcлороду фазой WO$_{3-x}$, относящейся к гексагональной сингонии, которая интенсивно развивается при повышении температуры отжига от 650 до 750$^\circ$C.

Поступила в редакцию: 20.02.2012