Эта публикация цитируется в 11 статьях

Синтез алмазных пленок в сильноточном тлеющем разряде переменного тока

С. А. Линник, А. В. Гайдайчук

Институт физики высоких технологий Национального исследовательского Томского политехнического университета

Аннотация: Приведены результаты экспериментов по осаждению поликристаллических алмазных пленок на подложки из Si, Ti, Mo с использованием специально разработанной разрядной системы на тлеющем разряде переменного тока. С помощью атомно-силовой микроскопии и рентгеновского анализа определены фазовый состав и морфология полученных пленок. Установлено, что полученные алмазные пленки имеют высокую чистоту и кристалличность. Отсутствуют включения неалмазной фазы углерода. Скорость роста алмазной пленки 6–7 $\mu$m/h.

Поступила в редакцию: 15.08.2011

 Англоязычная версия: Technical Physics Letters, 2012, 38:3, 258–260

Реферативные базы данных:

•