Синтез и исследование композитных Ge$_x$Ni$_{1-x}$ пленок, полученных осаждением германия и никеля

Н. М. Сулейманов^a, А. А. Абдуллина^b, В. В. Базаров^a, Н. М. Лядов^a, Н. Р. Ханов^ab, В. А. Шустов<sup>a

a</sup> Казанский физико-технический институт им. Е. К. Завойского, КазНЦ РАН, Казань, Россия
^b Казанский государственный энергетический университет, Казань, Россия

Аннотация: Методом магнетронного распыления в режиме постоянного тока в высоковакуумной камере синтезирована серия пленок Ge$_x$Ni$_{1-x}$ на монокристаллических подложках кремния. Пленки получали осаждением при одновременном распылении двух мишеней: полупроводникового германия и металлического никеля. Химический состав пленок исследовался методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Установлено, что термический отжиг пленок приводит к формированию в них фазы германида никеля NiGe. Методом сканирующей электронной микроскопии обнаружены области, которые можно отнести к указанной фазе.

Ключевые слова: электродные материалы, металлические наночастицы, электрокаталитическая активность, полупроводниковые наноструктурированные системы.

Поступила в редакцию: 04.07.2025
Исправленный вариант: 20.08.2025
Принята в печать: 01.09.2025

DOI: 10.61011/PJTF.2026.01.61920.20433

Реферативные базы данных:

•