Международная конференция ФизикА.СПб/2025

Особенности распределения параметров прианодной плазмы короткого тлеющего разряда с плоским и полым катодом

C. Zhou, А. М. Астафьев, А. А. Кудрявцев, C. Yuan

Харбинский политехнический университет, Харбин, Китай

Аннотация: Выполнены зондовые измерения коротких (без положительного столба) разрядов в гелии с полым и плоским катодом. Определены зависимости от давления плавающего потенциала, потенциала пространства, а также электронной температуры для обоих разрядов. Установлено, что потенциал изолированного зонда является более отрицательным (на величину порядка нескольких электронных температур) по отношению к потенциалу плазмы, при этом потенциал плазмы является положительным по отношению к аноду при низких давлениях газа. Проведенные измерения показали, что в разряде с полым катодом в прианодной области реализуются условия, когда электронная концентрация падает в ускоряющем электроны на анод поле.

Ключевые слова: потенциал зонда, тлеющий разряд, разряд с полым катодом, разряд с плоским катодом, анодное падение напряжения.

Поступила в редакцию: 05.05.2025
Исправленный вариант: 04.07.2025
Принята в печать: 22.07.2025

DOI: 10.61011/PJTF.2025.23.61678.8126

Реферативные базы данных:

•