RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Письма в Журнал технической физики // Архив

Письма в ЖТФ, 2025, том 51, выпуск 22, страницы 17–20 (Mi pjtf8678)

Методика получения Ge/Si(001) самоформирующихся нанопроволок для реализации на их основе дырочных спиновых кубитов

Д. В. Юрасов, М. В. Шалеев, А. В. Новиков

Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород, Россия

Аннотация: Предложена методика получения методом молекулярно-пучковой эпитаксии на подложке Si(001) самоформирующихся Ge нанопроволок. Подход основан на осаждении в двух зонах подложки различного количества Ge и контроле поверхности одной из зон методом дифракции быстрых электронов, что позволяет осаждать произвольно близкое к критической толщине псевдоморфного роста количество Ge в другой зоне. Совместно с оптимизированными условиями постростового отжига это позволило получить Ge нанопроволоки с различными параметрами, в том числе с длиной более 0.5 $\mu$m и низкой поверхностной плотностью, морфология которых удовлетворяет требованиям для формирования на их основе дырочных спиновых кубитов.

Ключевые слова: SiGe гетероструктуры, молекулярно-пучковая эпитаксия, самоформирующиеся островки, нанопроволоки.

Поступила в редакцию: 04.07.2025
Исправленный вариант: 08.08.2025
Принята в печать: 12.08.2025

DOI: 10.61011/PJTF.2025.22.61578.20431



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2026