М. Н. Дроздов, Ю. Н. Дроздов, Г. Л. Пахомов, В. В. Травкин, П. А. Юнин, В. Ф. Разумов, “Послойный молекулярный анализ фуллерен-содержащих структур методом время-пролетной вторично-ионной масс-спектрометрии”, Письма в ЖТФ, 2013, том 39, выпуск 24,страницы 45

Эта публикация цитируется в 8 статьях

Послойный молекулярный анализ фуллерен-содержащих структур методом время-пролетной вторично-ионной масс-спектрометрии

М. Н. Дроздов^ab, Ю. Н. Дроздов^ab, Г. Л. Пахомов^ab, В. В. Травкин^ab, П. А. Юнин^ab, В. Ф. Разумов^ab

^a Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
^b Федеральный исследовательский центр проблем химической физики и медицинской химии РАН, г. Черноголовка Московской обл.

Аннотация: Исследуется новый вариант послойного анализа тонкопленочных фуллерен-содержащих органических структур методом время-пролетной вторично-ионной масс-спектрометрии на установке TOF.SIMS-5. Обнаружена и исследована зависимость интенсивности выхода молекулярных ионов C$_{60}$ от энергии распыляющих ионов Cs. Показано, что при энергии ниже 1 keV наблюдается высокая интенсивность линии молекулярных ионов C$_{60}$, позволяющая проводить не только элементный, но и молекулярный послойный анализ состава многокомпонентных (многослойных) тонкопленочных структур. Демонстрируются перспективы использования послойного молекулярного анализа для получения новой, более детальной информации о реальном молекулярном составе в функциональных органических устройствах.

Поступила в редакцию: 16.07.2013