Е. А. Баранов, А. О. Замчий, С. Я. Хмель, “Синтез ориентированных массивов “микроканатов” из нанопроволок окиси кремния методом газоструйного химического осаждения с активацией электронно-пучковой плазмой”, Письма в ЖТФ, 2013, том 39, выпуск 22,страницы 88

Эта публикация цитируется в 8 статьях

Синтез ориентированных массивов “микроканатов” из нанопроволок окиси кремния методом газоструйного химического осаждения с активацией электронно-пучковой плазмой

Е. А. Баранов^ab, А. О. Замчий^ab, С. Я. Хмель^ab

^a Новосибирский государственный университет
^b Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе Сибирского отделения Российской академии наук

Аннотация: Впервые синтезированы ориентированные массивы пучков (“микроканатов”) нанопроволок окиси кремния из смеси моносилана с водородом методом газоструйного химического осаждения с активацией электронно-пучковой плазмой. Синтез осуществлялся на подложках монокристаллического кремния, покрытых частицами оловянного катализатора микронного размера. Из частицы катализатора вырастает пучок (“микроканат”) нанопроволок окиси кремния, каждая из которых имеет диаметр примерно 15 nm. По-видимому, синтез осуществляется по известному механизму “пар–жидкость–кристалл”, причем одновременно несколько нанопроволок растет с поверхности одной частицы катализатора. Скорость роста микроканатов около 25 nm/s при температуре синтеза 400$^\circ$C. Для объяснения результатов предложена возможная модель роста.

Поступила в редакцию: 27.05.2013